下载激光退火方法和阵列基板的技术资料

文档序号:21093527

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本发明公开了一种激光退火方法和阵列基板,属于显示技术领域。所述方法包括:提供衬底基板;在至少一个非晶硅图案远离衬底基板的一侧设置掩膜组件,掩膜组件包括掩膜板和微透镜阵列;通过激光光源从掩膜组件远离非晶硅图案的一侧照射掩膜组件,激光光源发出的...
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