下载一种在晶圆测试过程中动态调整测试条件的方法的技术资料

文档序号:21093076

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种在晶圆测试过程中动态调整测试条件的方法,包括以下步骤:S100,晶圆起测;S200,监测测试项运行,使用该监测测试项的测试结果来预判当前被测晶圆的良率:如果通过监测测试项的结果预判当前被测晶圆良率合格,则按照第一组测试参数进...
该专利属于西安紫光国芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安紫光国芯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。