下载一种单、多晶硅料的筛选检测方法的技术资料

文档序号:21087030

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本发明涉及一种单、多晶硅料的筛选检测方法。该方法包括下列步骤:步骤一:原生多晶硅来料核对,步骤二:人工粗检原料,步骤三:原料细检,步骤四:原料电阻率细检,步骤五:原料杂质精检,步骤六:原料碳氧浓度检测,步骤七:原料少子寿命检测,步骤八:原料...
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