下载薄片类介质的粘贴异物检测方法及其装置的技术资料

文档序号:21085927

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本发明公开了薄片类介质的粘贴异物检测方法,步骤包括:利用霍尔元件获取待检测的薄片类介质的电压数据;根据电压数据和电压厚度转换公式,获取待检测的薄片类介质的厚度数据;根据所述厚度数据计算所述待检测的薄片类介质的厚度平均值;将待检测的薄片类介质...
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