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一种重掺锑单晶高氧含量高寿命热场部件，包括设有上端开口的炉体，盖接在炉体的上端口位置的炉盖，在炉体内安装有主保温毡，在炉体内侧底部安装有底保温毡，在主保温毡内安装有主保温筒，在主保温毡和主保温筒的上端面上可拆卸的安装有保温环，在主保温毡内还...
该专利属于宁夏银和半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏银和半导体科技有限公司授权不得商用。

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