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一种二氧化钒柔性薄膜及其方法，其包括以下步骤：步骤1、在刚性衬底上外延生长氧化物缓冲层，在氧化物缓冲层上再外延生长二氧化钒薄膜；步骤2、在二氧化钒薄膜表面旋涂一层有机支撑保护薄膜，并干燥；步骤3、通过湿法腐蚀去除氧化物缓冲层，将得到的有机支...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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