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本发明提供一种氮化硅减反射薄膜及其制备方法和应用，该薄膜表面细致均匀，主要目的为了减小太阳能在薄膜上的反射，从而增强太阳能电池的光电转化率。将硅靶材和石英玻璃基片放入真空系统中,充入氮气，采用激光溅射沉积的方法制备出氮化硅薄膜，选取靶材为9...
该专利属于大连大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连大学授权不得商用。

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