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本发明公开了一种分栅闪存的测试结构，闪存单元包括选择栅，浮栅和擦除栅，浮栅具有顶部尖角的侧墙结构。测试结构由同一行的所述选择栅行、浮栅行和擦除栅行延伸到存储区外部形成。在测试结构的区域中，选择栅的第一侧面形成一环形结构，环形结构使位于环形结...
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