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本发明公开了一种内嵌式触控阵列基板及其制造方法，属于液晶显示制造领域，本发明通过在源极、漏极和半导体层使用第一次半色调掩膜版，在第一透明电极层和触控金属层使用第二次半色调掩膜版，在有机绝缘层和第一绝缘层中使用一道光罩两次刻蚀，减少了阵列基板...该专利属于南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司授权不得商用。