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本发明公开一种薄膜晶体管阵列基板制造方法，包括：提供基板，在基板上形成间隔设置的栅极和第一电极；形成第一绝缘层，并在第一绝缘层上依次形成对应栅极而设的半导体层、源极和漏极；形成第二绝缘层，并在第二绝缘层上形成第一接触孔，使漏极的上表面的一部...
该专利属于昆山龙腾光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山龙腾光电有限公司授权不得商用。

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