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大面积制备金属相与半导体相接触的二维碲化钼面内异质结的方法及应用技术
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文档序号:21063175
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本发明公开了一种大面积制备金属相与半导体相接触的二维碲化钼面内异质结的方法及应用。该方法是先在衬底上生长二维钼薄膜,通过化学气相沉积法使之转变为半导体相碲化钼薄膜,再通过光刻和刻蚀图形化半导体相碲化钼薄膜,然后生长钼薄膜,剥离得到金属钼和半...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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