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制备金刚石涂层的热丝架及装置制造方法及图纸
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文档序号:21052984
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本发明涉及一种制备金刚石涂层的热丝架及装置。该热丝架包括两左电极、两右电极,及连接位于同一水平面的所述左电极及与所述右电极的两电热丝组,所述两左电极在第一方向上相互平行,所述两右电极在第一方向上相互平行,所述两电热丝组在第二方向上相互平行,...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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