The invention relates to a hot wire frame and device for preparing diamond coating. The hot wire rack comprises two left electrodes, two right electrodes, and two electrothermal wire groups connected with the left electrodes and the right electrodes on the same horizontal plane. The two left electrodes are parallel in the first direction, the two right electrodes are parallel in the first direction, the two electrothermal wire groups are parallel in the second direction, and the first direction and the second direction are perpendicular to each other. In this way, diamond coatings can be prepared on both surfaces of metal substrates simultaneously by using the hot wire frame.
【技术实现步骤摘要】
制备金刚石涂层的热丝架及装置
本专利技术涉及化学气相沉积金刚石膜领域,具体涉及一种金刚石涂层制备装置及其热丝架。
技术介绍
金刚石是硬度最高的固体物质,性能稳定,耐磨,但却难以加工成各种所需的零件和制品。采用化学气相沉积法制备金刚石涂层,可使金刚石性能得到充分利用。而热丝法又是化学气相沉积法中较为常见的一种方法。热丝法制备金刚石涂层通常需要采用多根热丝组成的热丝阵列来实现,缓和反应气体由反应室中的进气口从上部流向热丝阵列,经高温热丝加热,部分反应气体分解成碳活性基团和原子氢。这些碳活性基团和原子氢流向衬底,在一定的工艺条件下在衬底的表面上沉积成金刚石涂层。然而,目前热丝法制备金刚石涂层所采用的电极均为沿同一方向排布的二维热丝阵列。如此,经热丝分解生成的含炭活性基团和原子氢绝大部分沉积在衬底工件的上表面,在衬底工件的侧面有少量沉积,在衬底工件的下表面可能出现无沉积的情况。即,一次只能在衬底工件的一个面上沉积,这样必影响衬底工件金刚石涂层的制备效率。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种可同时对衬底工件的至少两个面同时进行沉积的制备金刚石涂层的热丝架,以解决上述问题。此外,为了解决上述问题,还有必要提供一种利用上述热丝架制备金刚石涂层的装置。为达到上述目的,本专利技术所提供的制备金刚石涂层的热丝架,包括两左电极、两右电极,及连接位于同一水平面的所述左电极及与所述右电极的两电热丝组,所述两左电极在第一方向上相互平行,所述两右电极在第一方向上相互平行,所述两电热丝组在第二方向上相互平行,所述第一方向与所述第二方向相互垂直。在一实施方式中,所述每一右电极远离所述左电极 ...
【技术保护点】
1.一种制备金刚石涂层的热丝架,其特征在于,包括两左电极、两右电极,及连接位于同一水平面的所述左电极及与所述右电极的两电热丝组,所述两左电极在第一方向上相互平行,所述两右电极在第一方向上相互平行,所述两电热丝组在第二方向上相互平行,所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
【技术特征摘要】
1.一种制备金刚石涂层的热丝架,其特征在于,包括两左电极、两右电极,及连接位于同一水平面的所述左电极及与所述右电极的两电热丝组,所述两左电极在第一方向上相互平行,所述两右电极在第一方向上相互平行,所述两电热丝组在第二方向上相互平行,所述第一方向与所述第二方向相互垂直。2.如权利要求1所述的热丝架,其特征在于,所述每一右电极远离所述左电极的一侧上设置有支撑架,所述支撑架通过绝缘件与所述右电极相连;每一电热丝组包括多个相互平行的电热丝,每一所述电热丝包括第一端及与所述第一端正对的所述第二端,所述第一端固定在所述左电极上,所述第二端经过所述右电极固定在所述支撑架上。3.如权利要求2所述的热丝架,其特征在于,所述右电极开设有容纳所述电热丝的开槽,所述电热丝的第二端通过所述开槽固定在所述支撑架上。4.如权利要求2所述的热丝架,其特征在于,所述支撑架上设有高温弹簧,所述第二端穿过所述开槽固定在所述高温弹簧的一端,所述高温弹簧的另一端固定在所述支撑架上。5.如权利要求2至4任意一项所述的加热丝,其特征在于,所述支撑架与水平面的夹角为30°。6.如权利要求1所述的热丝架,其特征在于,还包括用于支撑所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐永炳,杨扬,谷继腾,
申请(专利权)人:深圳先进技术研究院,
类型:发明
国别省市:广东,44
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