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一种薄膜溅射控制装置和方法，其中，该装置包括：电源模块(1)，其正极连接至薄膜溅射腔体(7)的阳极，负极连接至薄膜溅射腔体(7)的阴极；电压监控器(2)，并联连接到电源模块(1)的正极和负极之间，用于获取薄膜溅射腔体(7)的溅射电压；电流监...该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。
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一种薄膜溅射控制装置和方法，其中，该装置包括：电源模块(1)，其正极连接至薄膜溅射腔体(7)的阳极，负极连接至薄膜溅射腔体(7)的阴极；电压监控器(2)，并联连接到电源模块(1)的正极和负极之间，用于获取薄膜溅射腔体(7)的溅射电压；电流监...