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本发明提供一种蒸发源装置、成膜装置、成膜方法以及电子设备的制造方法。本发明的蒸发源装置包括：多个坩埚，所述多个坩埚包括第一坩埚和第二坩埚，收纳蒸镀材料；防附着板，所述防附着板覆盖所述第一坩埚，并在所述第二坩埚之上具有开口；以及可动式的蒸发源...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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