下载超微型芯片的研磨嵌样装置的技术资料

文档序号:21052181

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型一种超微型芯片的研磨嵌样装置,包括回转工作台、研磨布、研磨嵌样限位环、研磨液输出管道、储液桶、驱动装置以及研磨头,所述的研磨布黏贴于在回转工作台上,所述的研磨嵌样限位环放置在研磨布的上端,储液桶通过研磨液输出管道与研磨嵌样限位环的...
该专利属于苏州芯联成软件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州芯联成软件有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。