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本发明涉及纳米粉体生产技术领域，具体是一种热弧蒸发多腔体金属化合物纳米粉体的连续生产方法。在各独立腔体的阳极固定器上安装相同成分或不同成分的单金属或金属合金靶材为阳极，以熔点高于3000℃的金属为阴极、抽真空、起弧、通过对直流电功率的控制，...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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