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硅锭的切割方法、硅晶圆的制造方法及硅晶圆技术
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下载硅锭的切割方法、硅晶圆的制造方法及硅晶圆的技术资料
文档序号:21041243
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本发明提出一种方法,在使用固定磨粒线锯切割具有超过300mm的直径的硅锭时,能够将镍引起的污染抑制为低于检出限。一种硅锭的切割方法,其为使至少一根在裸线的表面固定了多个磨粒的固定磨粒线材运行并且将具有超过300mm的直径的硅锭推压送入上述固...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。
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