温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本文描述一种电化学沉积系统，该电化学沉积系统具有两个以上电化学沉积模块，该等电化学沉积模块是在一共同平台上加以配置且是配置成用于在一基板上沉积一种以上金属。每一电化学沉积模块包括配置成包含阳极电解液流体的容积的一阳极隔间、配置成包含阴极电解...
该专利属于先进尼克斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先进尼克斯有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。