下载一种柔性薄膜太阳能电池用背电极的制备方法的技术资料

文档序号:21037809

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本发明公开一种柔性薄膜太阳能电池用背电极的制备方法,包括以下步骤:选取聚合物基板或金属柔性基板作为柔性基底;通过离子源溅射,对柔性基底进行清洗;通过磁控溅射,依次生长合金膜层、ZnAl膜层、降阻膜层、防腐蚀膜层、Mo膜层;最后将得到的膜层结...
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