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具有重新对准的特征布局的鳍基二极管结构制造技术
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文档序号:21037730
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本发明涉及具有重新对准的特征布局的鳍基二极管结构,揭示数种二极管结构及制造二极管结构的方法。第一及第二栅极结构经形成为该第二栅极结构与该第一栅极结构平行地配置。形成从衬底的顶面垂直地伸出的第一及第二鳍片。第一及第二鳍片配置在该第一栅极结构与...
该专利属于格芯公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯公司授权不得商用。
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