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本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，公开一种晶片传送机械手臂，包括内设有中空腔室的晶片承载部，还包括：第一凸台，位于所述晶片承载部的承载面，并用于支撑晶片；真空吸口，每个真空吸口均设于晶片承载部的承载面，且通过中空腔室与真空源连通，真空吸...
该专利属于东莞市中图半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市中图半导体科技有限公司授权不得商用。

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