温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了晶圆封装测试领域内的一种干式晶圆自动清洁机，包括壳体，所述壳体内从上到下依次设置有电机控制舱、置物舱和降噪吸音舱，所述电机控制舱内设置有风刀和离子消散器，风刀的出风口朝下设置，离子消散器的工作端与出风口相对应设置，所述置物舱...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。