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提供化学放大型正型感光性树脂组合物，在使用化学放大型正型感光性树脂组合物而在具有金属表面的基板的金属表面上形成作为镀覆造形物的铸模的抗蚀性图案的情况下，能够抑制在非抗蚀剂部产生底部(支承体表面侧)的宽度比顶部(抗蚀剂层的表面侧)的宽度窄的“...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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