下载一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法的技术资料

文档序号:21030400

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本发明公开了一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法,通过光纤布拉格光栅传感器实时高精度地感知探针受到的应变,进而获取探针与晶圆晶粒的接触情况,实时地调整探针运动状态。本发明使用的系统主要包括:光纤布拉格光栅应变传感器、光纤布拉格光栅...
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