一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法技术

本发明专利技术公开了一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法，通过光纤布拉格光栅传感器实时高精度地感知探针受到的应变，进而获取探针与晶圆晶粒的接触情况，实时地调整探针运动状态。本发明专利技术使用的系统主要包括：光纤布拉格光栅应变传感器、光纤布拉格光栅温度传感器、数据处理模块和运动控制模块。本发明专利技术可避免传统的探针运动过程中，由于对操作人员依赖性强、运动控制系统参与度低、探针探测传感器对探针压力的测量精度低，而导致探针因接触不良或接触过深而引起的误判和晶圆破损现象，弥补了传统探针运动控制方法安全性低、测试效率低和测试结果准确度难以得到保证的缺点，具有安全性高、测试效率高、测试结果准确度高的优点。

A Probe Motion Control Method Based on Fiber Bragg Grating Sensor

The invention discloses a probe motion control method based on the fiber Bragg grating sensor, which senses the strain of the probe in real time and high precision through the fiber Bragg grating sensor, then obtains the contact situation between the probe and the wafer grain, and adjusts the probe motion state in real time. The system used in the invention mainly includes: fiber Bragg grating strain sensor, fiber Bragg grating temperature sensor, data processing module and motion control module. The invention can avoid the misjudgment and wafer breakage caused by poor contact or deep contact of the probe due to strong dependence on the operator, low participation of the motion control system and low measurement accuracy of the probe probe probe pressure by the probe probe probe probe probe probe probe probe probe detection sensor, and make up for the low security, low test efficiency and test results of the traditional probe motion control method. It has the advantages of high security, high test efficiency and high accuracy of test results.

【技术实现步骤摘要】
一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法
本专利技术涉及集成电路测试设备
，尤其是涉及一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法。
技术介绍
集成电路测试设备
属于新一代信息技术产业的核心产业，具有极其重要的战略地位。作为集成电路测试设备的关键部件，探针通过高速运动实现对晶圆的高效功能测试。晶圆测试的成功与否很大程度上取决于探针与晶圆晶粒的接触是否有效。如果探针与晶圆晶粒间存在接触不佳，可能会发生误判的不良现象，影响测试结果和效率；如果探针与晶圆晶粒接触过深，晶圆晶粒承受的压力过大，容易造成晶圆不良和报废等重大质量事故，引起资源的浪费；这两种情况都会对整个晶圆测试产生非常大的影响。因此，必须严格控制探针与晶圆间的接触。自1978年科学家发现光纤的光敏性并利用纵向驻波写入法制成世界上第一根光纤布拉格光栅以来，光纤光栅以其抗电磁干扰、电绝缘性能好、安全可靠、耐腐蚀、化学性能稳定、体积小、重量轻、传输损耗小、易于复用、可远距离遥测等独特优点，在传感领域得到广泛应用，已成为目前传感技术发展的主流方向之一。传统的探针运动过程中，通过控制探针下针直到探针探测传感器触发，依靠本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法，其特征在于，使用的系统包括：光纤布拉格光栅应变传感器、光纤布拉格光栅温度传感器、数据处理模块和运动控制模块。

【技术特征摘要】
1.一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法，其特征在于，使用的系统包括：光纤布拉格光栅应变传感器、光纤布拉格光栅温度传感器、数据处理模块和运动控制模块。2.根据权利要求1所述的基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、对准备安装在探针上的所述光纤布拉格光栅应变传感器和所述光纤布拉格光栅温度传感器的温度灵敏度系数和应变灵敏度系数进行标定；第二步、在探针上安装封装好的所述光纤布拉格光栅应变传感器和所述光纤布拉格光栅温度传感器；其中，所述光纤布拉格光栅应变传感器用于测量探针的应变，同时受温度和应变的影响；所述光纤布拉格光栅温度传感器用于测量探针温度，只受温度影响；第三步、根据所述光纤布拉格光栅温度传感器的温度灵敏度系数，使用所述光纤布拉格光栅温度传感器的波长漂移对所述光纤布拉格光栅应变传感器的波长漂移进行温度补偿，获取探针未接触晶圆晶粒时，所述光纤布拉格光栅应变传感器仅受应变影响的波长漂移作为非接触阈值，获取探针接触晶圆晶粒且可测试晶圆晶粒时，所述光纤布拉格光栅应变传感器仅受应变影响的波长漂移作为测试阈值；第四步、探针由初始位置开始下针；第五步、所述数据处理模块实时采集所述光纤布拉格光栅应变传感器的波长漂移和所述光纤布拉格光栅温度传感器的波长漂移，根据所述光纤布拉格光栅温度传感器的温度灵敏度系数和波长漂移，消除所述光纤布拉格光栅应变传感器中因温度变化引起的波长漂移，获取所述光纤布拉格光栅应变...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏中，李擎，刘洪，刘宁，王英剑，梅迪，
申请(专利权)人：北京信息科技大学，
类型：发明
国别省市：北京,11