下载一种非球面光学元件的检测装置的技术资料

文档序号:21030211

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本发明公开了一种非球面光学元件的检测装置,包括波前传感器或干涉仪、分光镜和硅基液晶,硅基液晶为反射型硅基液晶;波前传感器或干涉仪发出的激光经光阑后照射到分光镜上,经折射后射入硅基液晶中,光经过硅基液晶反射后再次通过分光镜照射到非球面光学元件...
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