一种非球面光学元件的检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种非球面光学元件的检测装置，包括波前传感器或干涉仪、分光镜和硅基液晶，硅基液晶为反射型硅基液晶；波前传感器或干涉仪发出的激光经光阑后照射到分光镜上，经折射后射入硅基液晶中，光经过硅基液晶反射后再次通过分光镜照射到非球面光学元件上，光经过非球面光学元件的反射后依次经过硅基液晶的反射和分光镜的折射后进入波前传感器或干涉仪中，被其中的显示装置接收形成干涉图像。本发明专利技术检测装置采用硅基液晶替代计算全息法中的全息片，大大提高了检测装置的应用范围，具有通用性广的优点，对于不同的非球面光学元件均可进行面形检测。

A Testing Device for Aspherical Optical Elements

The invention discloses a detection device for aspheric optical elements, which includes a wavefront sensor or interferometer, a spectroscope and a silicon-based liquid crystal. The silicon-based liquid crystal is a reflective silicon-based liquid crystal; the laser emitted by the wavefront sensor or interferometer is irradiated on the spectroscope through an aperture, then refracted into the silicon-based liquid crystal, and the light is reflected by the silicon-based liquid crystal and irradiated to the aspheric surface through a spectroscope again. On the optical elements, light is reflected by aspheric optical elements, then refracted by silicon-based liquid crystal and spectroscope, and then enters the wavefront sensor or interferometer, which is received by the display device to form an interference image. The device adopts silicon-based liquid crystal instead of the hologram in the computer-generated hologram, greatly improves the application scope of the device, has the advantages of wide versatility, and can detect the surface shape of different aspheric optical elements.

【技术实现步骤摘要】
一种非球面光学元件的检测装置
本专利技术涉及一种非球面光学元件的检测装置，属于光学检测

技术介绍
随着现代光学工程技术的发展，光学元件应用领域愈加广泛。由于人们对于光学系统的要求越来越高，在光学系统中使用非球面光学元件，不仅能增加光学设计的自由度，有利于像差校正、改善像质、提高光学系统性能，而且还能够减少光学元件的数量和重量，简化仪器结构，大大减少系统的尺寸和重量，降低成本。基于非球面光学元件的上述优点，很多光学系统中己广泛使用非球面光学元件代替球面光学元件，成为起支撑作用的关键部件。小到普通的眼镜镜片，大到照相透镜、平板印刷系统、天文望远镜等复杂的光学系统。在研磨期，非球面光学元件与其理论面形的偏差很大，一般采用普通的接触式轮廓仪对其面形进行初步检测。在研磨后期以及粗抛光阶段，非球面光学元件表面与理想面形之间仍然存在较大偏差，但接触式轮廓仪等方法由于容易划伤元件表面，且精度受限，已无法满足加工要求。同时，由于此时非球面光学元件表面的反射率较低，因此可以利用激光跟踪仪或非接触式Shack-Hartmann波前传感器法、朗奇光栅法等对其面形进行测量。精密抛光阶段的非球面光学元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非球面光学元件的检测装置，其特征在于：包括波前传感器或干涉仪、分光镜和硅基液晶，硅基液晶为反射型硅基液晶；波前传感器或干涉仪发出的激光经光阑后照射到分光镜上，经折射后射入硅基液晶中，光经过硅基液晶反射后再次通过分光镜照射到非球面光学元件上，光经过非球面光学元件的反射后依次经过硅基液晶的反射和分光镜的折射后进入波前传感器或干涉仪中，形成的像被其中的显示装置接收。

【技术特征摘要】
1.一种非球面光学元件的检测装置，其特征在于：包括波前传感器或干涉仪、分光镜和硅基液晶，硅基液晶为反射型硅基液晶；波前传感器或干涉仪发出的激光经光阑后照射到分光镜上，经折射后射入硅基液晶中，光经过硅基液晶反射后再次通过分光镜照射到非球面光学元件上，光经过非球面光学元件的反射后依次经过硅基液晶的反射和分光镜的折射后进入波前传感器或干涉仪中，形成的像被其中的显示装置接收。2.一种非球面光学元件的检测装置，其特征在于：包括波前传感器或干涉仪以及硅基液晶，硅基液晶为透射型硅基液晶；波前传感器或干涉仪发出的激光经光阑后，从硅基液晶透射照射到非球面光学元件上，光经过非球面光学元件的反射后穿过硅基液晶进入波前传感器或干涉仪中，形成的像被其中的显示装置接收。3.根据权利要求1所述的非球面光学元件的检测装置，其特征在于：反射型硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，周威，
申请(专利权)人：茂莱南京仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32