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一种LED芯片的电极制备方法,包括如下步骤:(1)在外延层表面依次镀上粘结层、缓冲层和焊接层;(2)在焊接层表面涂正性光刻胶,通过光刻得到正性光刻胶的电极图形;(3)对焊接层上对应的电极图形以外的部分腐蚀,然后烘烤LED芯片;(4)对缓冲层...该专利属于山东浪潮华光光电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东浪潮华光光电子股份有限公司授权不得商用。
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一种LED芯片的电极制备方法,包括如下步骤:(1)在外延层表面依次镀上粘结层、缓冲层和焊接层;(2)在焊接层表面涂正性光刻胶,通过光刻得到正性光刻胶的电极图形;(3)对焊接层上对应的电极图形以外的部分腐蚀,然后烘烤LED芯片;(4)对缓冲层...