下载一种用于微波无线充电的肖特基二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:21005865

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本发明涉及一种用于微波无线充电的肖特基二极管及其制备方法,包括如下步骤:(a)选取衬底;(b)在所述衬底上形成应变GeSn层;(c)在所述应变GeSn层上形成第一金属电极;(d)在所述衬底下表面形成第二金属电极。本发明采用Si作为衬底,并采...
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