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一种用于ESD防护的肖特基钳位SCR器件制造技术
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文档序号:21005801
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本发明提供一种用于ESD防护的肖特基钳位SCR器件,包括:P型衬底、p阱区和n阱区,在p阱区内部第一n+注入层与第一p+注入层,在n阱区内部的第三n+注入层及第二p+注入层,跨接在n阱区和p阱区之间的用于降低击穿电压的第二n+注入层,第一金...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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