下载一种石墨片表面绝缘的处理方法及石墨片的技术资料

文档序号:20998784

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本发明公开了一种石墨片表面绝缘的处理方法,包括以下步骤:将石墨片放置在PECVD设备中,输入氧气、氢气或者水蒸汽,用等离子体轰击石墨片表面,使得石墨片表面改性,在石墨片表面形成绝缘的氧化石墨烯层,对石墨片有每个表面都进行相同的等离子轰击,使...
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