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本发明提供一种高精度五轴三维超声抛光装置及其使用方法，该装置，包括：超声抛光设备基座、移动机构、超声抛光加工主动力装置、工件超声激振组件、抛光液喷洒雾化装置、联动位置移动装置和抛光液收集装置；所述工件超声激振组件通过旋转工作台I安装于所述超...
该专利属于东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学授权不得商用。

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