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本发明提供了厚度平面度段差检测装置、系统及方法，该装置包括：工作台；双层移动平台，双层移动平台包括第一级移动平台和第二级移动平台；检测组件，检测组件包括安装架、第一光谱共焦检测装置、第二光谱共焦检测装置，安装架安装在第二级移动平台上，第一光...
该专利属于深圳佰视特光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳佰视特光电科技有限公司授权不得商用。

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