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包括对装置标记的原位印刷的测量方法以及对应装置制造方法及图纸
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下载包括对装置标记的原位印刷的测量方法以及对应装置的技术资料
文档序号:20986112
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一种方法,包括在至少部分地位于装置内的同时在结构上印刷装置标记。该结构是衬底台的一部分或者位于衬底台上,但是与将由装置保持的衬底分离。使用装置内的传感器系统测量装置标记。...
该专利属于ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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