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本公开提供了一种电弧离子源及电弧离子源镀膜方法，能够显著提高膜层表面质量，提高靶材利用率，消除大颗粒污染，以提高膜层制备的经济效益。该电弧离子源包括至少两个磁场产生装置、靶材和电信号输出装置，两个磁场产生装置对称设置在靶材的两侧，每个磁场产...
该专利属于泰安东大新材表面技术有限公司;东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过泰安东大新材表面技术有限公司;东北大学授权不得商用。

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