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垂直腔表面发射激光器(VCSEL)晶片可以包括：基底层、在基底层上生长的外延层以及应变补偿层，所述应变补偿层用于在VCSEL晶片的变薄之后控制VCSEL晶片的弯曲。应变补偿层可以被布置在基底层的外延侧上。应变补偿层可以通过至少部分地补偿VC...
该专利属于朗美通运营有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗美通运营有限责任公司授权不得商用。

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