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一种可见光至近红外集成的光谱探测器装置及制备方法制造方法及图纸
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下载一种可见光至近红外集成的光谱探测器装置及制备方法的技术资料
文档序号:20973896
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本发明公开了一种可见光至近红外的单芯片集成的光谱探测器装置及制备方法,其中,该装置包括:外延片,包括上部的N接触层;胶状量子点阵列组成的胶状量子点滤光层,位于N接触层上。其制备方法中,胶状量子点由可以吸收可见光至近红外波段的硫化镉、硒化镉、...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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