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一种离子植入机及其工作方法，离子植入机包括：离子源，用于发射离子束；基座，用于承装晶圆；位于离子源和基座之间的第一挡板结构和第二挡板结构，所述第一挡板结构和第二挡板结构相互分立，所述第一挡板结构包括若干个第一挡板，所述第二挡板结构包括若干个...
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