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本实用新型涉及一种用于大型零件的真空正压测漏装置,测漏装置包括一底座支撑组,底座支撑组包括工装主板以及支撑座;一限位组,限位组包括多个第一限位块以及置于第二限位块,相邻两个第一限位块之间设有第三限位块,第一限位块上方设有与工装主板延伸方向一...该专利属于托伦斯半导体设备启东有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过托伦斯半导体设备启东有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种用于大型零件的真空正压测漏装置,测漏装置包括一底座支撑组,底座支撑组包括工装主板以及支撑座;一限位组,限位组包括多个第一限位块以及置于第二限位块,相邻两个第一限位块之间设有第三限位块,第一限位块上方设有与工装主板延伸方向一...