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一种微机电泵，包含：第一基板，其厚度为第一厚度，第一基板具有进气孔；第一氧化层，叠置第一基板该第一氧化层具有进气流道及汇流腔室，进气流道的一端与汇流腔室相通，另一端与进气孔相通；第二基板，叠置于第一氧化层，其厚度为第二厚度，第二基板具有穿孔...
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