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本实用新型公开了一种晶片清洗载盘，包括载盘框体、螺旋弹簧和定位杆；载盘框体包括两块侧板和连接支撑杆，两块侧板为长方形板，两块侧板相互平行，连接支撑杆连接两块侧板的短边并分别与两块侧板垂直；螺旋弹簧的两端分别固定连接在两块侧板表面上，螺旋弹簧...
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