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本实用新型涉及自动化技术领域，尤其是一种全自动硅片清洗装置，包括机体，机体的一侧设有进料口，进料口处设有进料机构，机体的另一侧设有出料口，出料口处设有出料机构，机体内设有清洗机构，第一超声清洗槽靠近进料口，清洗机构的两侧均设有两个滚动机构，...
该专利属于浙江海顺新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江海顺新能源有限公司授权不得商用。

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