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本发明公开了一种基于两级串联的准分子激光脉冲展宽方法和装置，包括一个基于单分束元件、多个球面反射镜组成共焦谐振腔的前级脉冲展宽装置和一个基于双分束元件、多个球面反射镜组成共焦谐振腔的后级脉冲展宽装置。前级脉冲展宽装置采用单分束元件对入射激光...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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