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半导体存储器装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:20946371
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本发明公开了一种半导体存储器装置及一种制造半导体存储器装置的方法。所述半导体存储器装置包括:装置隔离层,界定衬底的有源区;以及栅极线,掩埋在衬底中且穿过有源区延伸。栅极线中的每一者包括:导电层;衬层,设置在导电层与衬底之间且将导电层与衬底分...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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