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本发明构思提供了一种用于对基板进行热处理的装置和方法。该方法包括：第一处理操作，即在供处理基板的处理空间被关闭的状态下将基板与设置有加热器的支撑板间隔开至第一高度并加热基板；在第一处理操作之后的第二处理操作，即降低基板使得基板位于第二高度并...
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