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本发明公开一种栅极与薄膜晶体管的制造方法。所述栅极的制造方法包含：提供一基板；形成一第一金属层在所述基板上；形成一铝钼复合金属层在所述第一金属层上；及形成一第二金属层在所述铝钼复合金属层上，以形成所述栅极。本发明实施例的栅极与薄膜晶体管的制...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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