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一种适于基板电路氮‑氢混合等离子清洗方法，具体方法包括以下步骤：⑴将待清洗的集成电路基板电路平放在等离子清洗机清洗腔内，关好清洗腔仓门；⑵通入一定配比的氮‑氢混合气；⑶设置射频电源功率、腔体真空度、清洗时间的参数；⑷启动清洗程序进行等离子清...
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