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一种低温缓冲层技术制备柔性氧化钒复合薄膜的方法。一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料薄膜上形成氧化钒缓冲层；步骤三，对形成有所述氧化钒缓冲层的基片进行退火...
该专利属于深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。

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