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本发明涉及蒸镀技术领域,公开一种坩埚及点型蒸发源,坩埚包括一端形成开口的坩埚埚体,坩埚埚体的底部用于容置蒸镀材料,还包括至少一个扩散单元,扩散单元安装在坩埚埚体内靠近开口的一端,扩散单元具有导流部和阻挡部,阻挡部用于阻挡蒸镀材料不均匀蒸发所...该专利属于合肥欣奕华智能机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥欣奕华智能机器有限公司授权不得商用。
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本发明涉及蒸镀技术领域,公开一种坩埚及点型蒸发源,坩埚包括一端形成开口的坩埚埚体,坩埚埚体的底部用于容置蒸镀材料,还包括至少一个扩散单元,扩散单元安装在坩埚埚体内靠近开口的一端,扩散单元具有导流部和阻挡部,阻挡部用于阻挡蒸镀材料不均匀蒸发所...